Untuk melakukan analisis SEM diperlukan langkah-langkah sebagai berikut:
Pertama, • kita membuat spesifikasi model yang didasarkan pada teori, kemudian menentukan bagaimana mengukur konstruk-konstruk, mengumpulkan data, dan kemudian masukkan data ke Amos.
Kedua,• Amos akan mencocokkan data kedalam model yang sudah dispesifikasi, kemudian memberikan hasil yang mencakup semua angka-angka statistik kecocokan model dan estimasi-estimasi parameter.
Ketiga,• masukkan data yang biasanya dalam bentuk matriks kovarian dari variable-variabel yang sedang diukur, misalnya nilai butir-butir pertanyaan yang digunakan,. Bentuk masukan lainnya dapat berupa matriks korelasi dan rata-rata (mean). Data dapat berupa data mentah kemudian diubah menjadi kovarian dan rata-rata.
Keempat,• membuat estimasi sesuai keperluan riset.
Kelima, • mencocokkan data dengan model yang sudah dibuat.
Olah Data dan Pendampingan Penyusunan Artikel Ilmiah