Terdapat beberapa tahapan yang harus dilalui untuk
menggunakan SEM dalam kegiatan penelitian seperti yang
sudah dijelaskan oleh (Santoso, 2012), yaitu:
1. Pembentukan Model SEM
Pada tahap ini sebuah model dibentuk
berdasarkan teori-teori tertentu untuk membentuk
diagram yang meliputi measurement model dan
structural model. Teori-teori yang digunakan
bergantung pada fokus penelitian yang akan dilakukan.
2. Persiapan Desain Penelitian dan Pengumpulan Data
Setelah pembentukan model dilakukan
pengujian asumsi-asumsi yang seharusnya dipenuhi
oleh SEM, menangani mengumpulkan data, menangani
missing data, menghapus data outlier dan sebagainya.
3. Identifikasi Model
Pada tahap ini dilakukan uji identifikasi untuk
menentukan apakah model dapat dilanjutkan untuk
dianalisis lebih lanjut. Uji identifikasi dilakukan dengan
menghitung degree of freedom.
4. Pengujian dan Estimasi Model
Dalam tahap ini dilakukan uji measurement
model dan structural model secara berurutan. Uji
measurement model akan meghasilkan hubungan antara
indikator dengan konstruknya. Jika hasilnya valid maka
dilanjutkan dengan uji structural model untuk
mendapatkan korelasi hubungan antar konstruk yang
ada
