Dalam SEM terdapat 2 jenis kesalahan yang sering terjadi dalam melakukan analisis yaitu
(1) Kesalahan Struktural Adanya kesalahan struktural karena variabel laten eksogen tidak dapat secara sempurna memprediksi variabel laten endogen. Dalam memperoleh hasil estimasi parameter yang konsisten, kesalahan struktural diasumsikan tidak berkorelasi dengan variabel-variabel eksogen dari model.
(2) Kesalahan Pengukuran Kesalahan pengukuran disebabkan oleh variabel-variabel manifest yang tidak dapat secara sempurna memprediksi variabel laten. Komponen kesalahan pengukuran yang terkait dengan variabel manifest X (variabel manifest yang terkait dengan variabel laten eksogen) diberi label (delta), sementara komponen kesalahan pengukuran yang terkait dengan variabel Y (variabel manifest yang terkait dengan variabel laten endogen) diberi label KSI1 𝜉 KSI2 𝜉 ETA1 (𝜂 ETA2 (𝜂 ETA3 (𝜂 ∅ 𝜎𝜉21 GAMMA11 𝛾 GAMMA12 𝛾 GAMMA32 𝛾 BETA21 𝛽 BETA31 𝛽 ZETA1 (𝜁 ZETA2 (𝜁 ZETA3 (𝜁 19 (epsilon).