Ghozali & Fuad (2008: 8), mengajukan tahapan pemodelan dan analisis persamaan struktural menjadi 7 langkah, yaitu (1) Konseptualisasi Model Tahap ini berhubungan dengan pengembangan hipotesis (berdasarkan teori) sebagai dasar dalam menghubungkan variabel laten dengan variabel laten lainnya, dan juga dengan indikator-indikatornya. X1 X2 X3 KSI1 (𝜉 LAMBDA X11 (𝜆𝑋 LAMBDA X21 (𝜆𝑋 LAMBDA X31 (𝜆𝑋 16 (2) Menyusun diagram alur (path diagram) Tahap ini akan memudahkan dalam memvisualisasi hipotesis yang telah diajukan dalam konseptualisasi model diatas. Visualisasi model akan mengurangi tingkat kesalahan dalam pembangunan suatu model dalam LISREL. (3) Spesifikasi Model Tahap ini merupakan tahap ketiga dalam SEM, yaitu spesifikasi model dan menggambarkan sifat dan jumlah parameter yang diestimasi, analisis data tidak dapat dilakukan sampai tahap ini selesai. (4) Identifikasi Model Tahap ini harus dapat memperoleh nilai yang unik untuk seluruh parameter dari data yang telah diperoleh. Jika dalam hal ini tidak dapat dilakukan, maka modifikasi model mungkin harus dilakukan untuk dapat diidentifikasi sebelum melakukan estimasi parameter. (5) Estimasi parameter Tahap ini, estimasi parameter untuk suatu model diperoleh dari data karena program LISREL maupun AMOS berusaha untuk menghasilkan matriks kovarians berdasarkan model (model-based covariance matrix) yang sesuai dengan kovarians matriks sesungguhnya (observed covariance matrix). Uji signifikan dilakukan dengan menentukan apakah parameter yang dihasilkan secara signifikan berbeda dari nol. (6) Penilaian model fit Tahap ini, suatu model dikatakan fit apabila kovarians matriks suatu model (model-based covariance matrix) adalah sama dengan kovarians matriks 17 data (observed). Model fit dapat dinilai dengan menguji berbagai indeks fit yang diperoleh dari LISREL (misal RMSEA, RMR, GFI, CFI, TLI, NFI, dan masih banyak lagi). (7) Modifikasi model Tahap ini, segala modifikasi (walaupun sangat sedikit), harus berdasarkan teori yang mendukung. Dengan kata lain, modifikasi model seharusnya tidak dilakukan hanya semata-mata untuk mencapai model yang fit. (8) Validasi silang model Tahap ini adalah tahap terakhir, yaitu menguji fit-tidaknya model terhadap suatu data baru (atau validasi sub-sampel yang diperoleh melalui prosedur pemecahan sampel). Validasi silang ini penting apabila terdapat modifikasi yang substansial yang dilakukan terhadap model asli yang dilakukan pada langkah di atas. Dalam pemodelan SEM, data yang digunakan sebagai input adalah matriks kovarians dari data sampel (data empiris), yang selanjutnya digunakan untuk menghasilkan sebuah estimasi matriks kovarians populasi (Sahadi & Wibowo, 2013: 101)
