Pada tahap ini, spesifikasi model yang dilakukan oleh peneliti meliputi: a. mengungkapkan sebuah konsep permasalahan peneliti yang merupakan suatu pertanyaan atau dugaan hipotesis terhadap suatu masalah. b. mendefinisikan variabel-variabel yang akan terlibat dalam penelitian dan mengkategorikannya sebagai variabel eksogen dan variabel endogen. c. menentukan metode pengukuran untuk variabel tersebut, apakah bisa diukur secara langsung (measurable variable) atau membutuhkan variabel manifest (manifest variabel atau indikator-indikator yang mengukur konstrak laten). d. mendefinisikan hubungan kausal struktural antara variabel (antara variabel eksogen dan variabel endogen), apakah hubungan strukturalnya recursive (searah, X →Y) atau nonrecursive (timbal balik, X ↔Y) . e. langkah optional, yaitu membuat diagram jalur hubungan antara konstrak laten dan konstrak laten lainnya beserta indikator-indikatornya. Langkah ini dimaksudkan untuk memperoleh visualisasi hubungan antara variabel dan akan mempermudah dalam pembuatan program LISREL
