Setelah melakukan estimasi yang menghasilkan nilai parameter, perlu dilakukan pemeriksaan tingkat kecocokan. Antara variabel dengan data digunakan GOF (Goodness of Fit) untuk mengukur kecocokan model yaitu RMSEA (Root Mean Square Error of Approximation). RMSEA mirip dengan Chi-square yang terkoreksi dengan ukuran sampel. RMSEA mengukur penyimpangan nilai parameter suatu model dengan matriks kovarians populasinya.
RMSEA ≤ 0.05 menunjukkan close fit
0.05 < RMSEA ≤ 0.08 menunjukkan good fit
0.08 < RMSEA ≤ 0.1 menunjukkan mediocre (marginal) fit
0.1 < RMSEA menunjukkan poor fit