Suatu model dikatakan baik jika dapat mendeskripsikan suatu kejadian yang sebenarnya dengan galat yang kecil. Munculnya galat tidak dapat dihindari karena kejadian sebenarnya sangat kompleks sedangkan model hanya menjelaskan hubungan pokoknya saja. Detail dari kejadian yang tidak bisa dijelaskan oleh model akan masuk dalam komponen galat (residual). Terkait dengan data dapat dinyatakan dengan:
Data = Model + Residual
di mana: Data adalah nilai pengukuran yang berkaitan dengan variabel-variabel teramati dan membentuk sampel penelitian. Residual adalah perbedaan antara model yang dihipotesiskan dengan data yang diamati. Model adalah model yang dihipotesiskan atau dispesifikasikan oleh peneliti. Jika nilai residual mendekati 0 (nol), maka kecocokan data-model yang dihasilkan baik. Dalam SEM, selain data mentah, matriks kovarians dan matriks korelasi dari variabel yang diuji dapat digunakan sebagai input. Matriks kovarians adalah matriks yang terdiri dari nilai kovarians antara semua indikator setiap variabel.