Galat yang terdapat dalam SEM meliputi:
1) Galat Struktural (Structural Error)
Dilambangkan dengan “zeta”, untuk memperoleh estimasi parameter yang konsisten, galat struktural diasumsikan tidak berkorelasi dengan variabel-variabel eksogen dari model. Walaupun begitu, galat struktural bisa dimodelkan berkorelasi dengan galat struktural yang lain.
2) Galat Pengukuran (Measurement Error)
Variabel teramati X dilambangkan dengan “delta” dan variabel teramati Y dilambangkan dengan “epsilon”. Matriks kovarians dari δ diberi tanda dengan huruf Yunani Θδ “theta delta” dan untuk matriks kovarians dari ε yaitu Θε “theta epsilon”. Galat pengukuran berpengaruh pada penduga parameter dan besar kecilnya varians. Hal ini dapat diatasi oleh SEM melalui persamaan-persamaan yang ada pada model pengukuran