1. Kesalahan Struktural
Pada umumnya penggunaan SEM tidak berharap bahwa variabel bebas
dapat diprediksi secara sempurna dengan variabel terikat, sehingga dalam suatu
model biasanya ditambahkan komponen kesalahan struktural. Kesalahan
struktural ini diberi label dengan huruf Yunani 𝜁 (“zeta”). Untuk memperoleh
estimasi parameter yang konsisten, kesalahan struktural ini diasumsikan tidak
berkorelasi dengan variabel-variabel eksogen dari model. Meskipun demikian,
kesalahan struktural bisa dimodelkan berkorelasi dengan kesalahan struktural
yang lain (Wijanto, 2008).
2. Kesalahan Pengukuran
Kesalahan-kesalahan pengukuran disebabkan oleh variabel-variabel
manifes yang tidak dapat secara sempurna dalam memprediksi variabel laten.
Komponen kesalahan pengukuran yang terkait dengan variabel manifes (variabel
manifes yang terkait dengan variabel laten eksogen) diberi label 𝛿 (“delta”),
sementara komponen kesalahan pengukuran yang terkait dengan variabel dengan
variabel (variabel manifes yang terkait dengan variabel laten endogen) diberi label
𝜀 (“epsilon”) (Sarjono & Julianita, 2015).